이봐! 진공 펌프 시스템의 공급 업체로서, 나는 종종 진공 펌프 시스템에서 진공 수준의 측정 기기에 대한 질문을받습니다. 그래서 저는이 블로그 게시물을 모아이 주제에 대한 통찰력을 공유 할 것이라고 생각했습니다.
먼저, 진공 수준을 측정하는 것이 왜 그렇게 중요한지 이해합시다. 진공 펌프 시스템에서, 진공 수준은 시스템의 성능이 얼마나 잘 있는지 결정합니다. 펌프의 효율성, 진공 환경에서 수행되는 프로세스의 품질 및 시스템의 전반적인 신뢰성과 같은 것들에 영향을 미칩니다. 응용 프로그램마다 다른 진공 수준이 필요하므로 정확한 측정이 중요합니다.
이제 진공 수준에 사용되는 다양한 측정 기기를 살펴 보겠습니다.
1. Pirani 게이지
Pirani Gauges는 진공 측정의 세계에서 매우 인기가 있습니다. 그들은 압력 (또는 진공 수준)이 감소함에 따라 가스의 열전도율이 감소한다는 원칙에 따라 작동합니다. Pirani 게이지에는 가열 된 필라멘트가 있습니다. 필라멘트 주변의 가스 분자가 진공 수준에 따라 변화함에 따라, 열이 필라멘트에서 주변 가스로 전달되는 속도도 변화합니다. 열 전달의 이러한 변화는 필라멘트의 저항의 변화로 측정되며, 이는 진공 수준과 상관 관계가있을 수 있습니다.
Pirani 게이지는 일반적으로 10^-3 ~ 10 Torr의 범위에서 낮은 내지 중간 진공 수준을 측정하는 데 좋습니다. 비교적 저렴하고 사용하기 쉽고 응답 시간이 빠릅니다. 그렇기 때문에 그들은 우리와 같은 많은 산업 응용 분야에서 일반적으로 사용됩니다.탱크 장착 진공 펌프진공 수준의 빠르고 신뢰할 수있는 측정이 필요한 시스템.
2. 열전대 게이지
열전대 게이지는 진공 수준을 측정하기 위해 가스의 열 특성에 의존한다는 점에서 Pirani 게이지와 유사합니다. 필라멘트 대신 열전대 게이지는 열전대를 사용합니다. 이는 두 개의 접합부 사이의 온도 차이에 기초하여 전압을 생성하는 장치입니다.
열전대 게이지에서, 하나의 접합이 가열되고, 다른 접합은 기준 온도에있다. 가스 압력이 변함에 따라 가열 된 접합부에서 주변 가스로의 열 전달이 변화하여 두 교차점 사이의 온도 차이를 변화시킵니다. 이러한 온도 차이의 변화는 열전대에 의해 생성 된 전압의 변화를 초래하며, 이는 진공 수준을 결정하는데 사용될 수있다.
열전대 게이지는 또한 일반적으로 10^-3 내지 10 Torr의 범위에서 낮은 내지 중간 진공 수준을 측정하는 데 적합합니다. 그들은 디자인이 단순하고 비교적 저렴하며 진공 펌프 시스템에 쉽게 통합 될 수 있습니다.
3. 이온화 게이지
이온화 게이지는 일반적으로 10^-3 ~ 10^-12 Torr의 범위에서 높은 진공 수준을 측정하는 데 사용됩니다. 이온화 게이지에는 두 가지 주요 유형이 있습니다 : 뜨거운 캐소드 이온화 게이지 및 차가운 캐소드 이온화 게이지.
뜨거운 캐소드 이온화 게이지
뜨거운 캐소드 이온화 게이지에서 가열 된 필라멘트는 전자를 방출합니다. 이 전자는 진공 챔버의 가스 분자와 충돌하여 이온화됩니다. 이어서 이온은 전극에 의해 수집되고, 생성 된 이온 전류는 측정된다. 이온 전류는 챔버의 가스 압력 (또는 진공 수준)에 비례합니다.
뜨거운 캐소드 이온화 게이지는 매우 민감하며 높은 진공 수준의 정확한 측정을 제공 할 수 있습니다. 그러나 Pirani 또는 Thermocouple 게이지보다 비싸고 가열 된 필라멘트는 오염 또는 가스 압력으로 인해 쉽게 손상 될 수 있기 때문에주의 깊은 취급이 필요합니다.
차가운 캐소드 이온화 게이지
반면에 차가운 캐소드 이온화 게이지는 가열 된 필라멘트를 사용하지 않습니다. 대신, 그들은 진공 챔버의 가스 분자를 이온화하기 위해 고전압 배출을 사용합니다. 그런 다음 생성 된 이온 전류를 측정하여 진공 수준을 결정합니다.
차가운 캐소드 이온화 게이지는 뜨거운 캐소드 이온화 게이지보다 오염에 더 견고하고 덜 민감합니다. 그들은 또한 저렴하고 수명이 길다. 그러나 특히 매우 낮은 압력에서 뜨거운 캐소드 이온화 게이지만큼 정확하지 않습니다.
이온화 게이지는 종종 반도체 제조 또는 당사와 같은 매우 높은 진공 수준이 필요한 응용 분야에서 사용됩니다.오일 나사 진공 시스템진공 환경의 정확한 제어가 필수적 인 경우.
4. 커패시턴스 마노 미터
커패시턴스 마노 미터는 또 다른 유형의 진공 측정 기기입니다. 그들은 커패시터의 다이어프램의 한쪽에 압력이 변할 때 커패시터의 커패시턴스가 변한다는 원칙에 따라 작동합니다.
커패시턴스 압력계에서, 다이어프램은 2 개의 전극 사이에 배치되어 커패시터를 형성한다. 진공 챔버의 가스 압력이 변함에 따라, 다이어프램은 변형되어 전극과 커패시터의 커패시턴스 사이의 거리를 변화시킨다. 커패시턴스의 이러한 변화는 측정되고 진공 수준과 상관 관계가 있습니다.
커패시턴스 마노 미터는 매우 정확하며 대기압에서 10^-3 Torr까지 광범위한 진공 수준을 측정 할 수 있습니다. 그들은 또한 매우 안정적이며 빠른 응답 시간이 있습니다. 그러나 다른 유형의 게이지보다 비싸고 신중한 교정이 필요합니다.
커패시턴스 마노 미터복잡한 진공 펌프 장치, 진공 수준의 정확한 제어가 프로세스의 성공에 결정적인 경우.
올바른 측정 기기 선택
진공 펌프 시스템의 측정 기기를 선택할 때 고려해야 할 몇 가지 요소가 있습니다. 먼저 측정 해야하는 진공 수준의 범위를 결정해야합니다. 위에서 논의한 것처럼 다른기구는 다른 압력 범위에 적합합니다.
둘째, 애플리케이션의 정확성 및 민감도 요구 사항을 고려해야합니다. 매우 정확한 측정이 필요한 경우 이온화 게이지 또는 커패시턴스 압력계와 같은 더 비싸고 정교한 악기를 선택해야 할 수도 있습니다. 반면, 진공 수준의 대략적인 추정치 만 필요하면 Pirani 또는 Thermocouple 게이지가 충분할 수 있습니다.
셋째, 기기의 비용과 신뢰성에 대해 생각해야합니다. 이온화 게이지 및 커패시턴스 마노 미터와 같은 일부 악기는 더 비싸고 다른기구보다 더 많은 유지 보수가 필요합니다. 계측기 비용과 응용 프로그램에 제공하는 이점의 균형을 맞춰야합니다.
마지막으로, 진공 펌프 시스템과 악기의 호환성을 고려해야합니다. 기기를 시스템에 쉽게 통합 할 수 있고 진공 환경에 존재하는 가스 및 재료와 호환되는지 확인하십시오.
결론
진공 펌프 시스템에서 진공 수준을 측정하는 것은 시스템의 적절한 작동 및 성능을 보장하는 데 필수적입니다. 이용 가능한 여러 가지 유형의 측정 기기가 있으며 각각 고유 한 장점과 단점이 있습니다. 작동 원리와 이러한 기기의 특성을 이해함으로써 특정 응용 프로그램에 적합한 것을 선택할 수 있습니다.
진공 펌프 시스템 시장에 나와 있거나 기존 시스템에 적합한 측정 기기를 선택하는 데 도움이 필요한 경우 주저하지 말고 저희와 연락하십시오. 우리는 진공 펌프 시스템의 주요 공급 업체이며 귀하의 요구에 가장 적합한 솔루션을 찾는 데 도움이되는 전문 지식과 경험을 가지고 있습니다. 당신이 찾고 있는지 여부탱크 장착 진공 펌프, an오일 나사 진공 시스템,, a복잡한 진공 펌프 장치, 우리는 당신을 덮었습니다.
대화를 시작하고 진공 펌핑 요구를 충족시키기 위해 어떻게 협력 할 수 있는지 살펴 보겠습니다.
참조
- Dushman, S., & Lafferty, JM (1962). 진공 기술의 과학적 기초. 와일리.
- O'Hanlon, JF (2003). 진공 기술에 대한 사용자 안내서 (제 3 판). Wiley-Interscience.
- Vacgen. (nd). 진공 게이지. https://www.vacgen.com/vacuum-gauges/에서 검색했습니다.
