고진공 루츠 펌프
고진공 루츠 펌프
고진공 루츠 펌프는 산업용 진공 시스템에서 펌핑 속도와 가스 처리량을 높이도록 설계된 기계식 진공 부스터입니다. 적합한 배압 펌프와 함께 작동하는 루츠 부스터는 펌프다운 성능을 크게 향상시키고-임계 압력 범위 전체에서 고속 펌핑을 확장합니다.
제품 개요 및 주요 응용 프로그램
고진공 루츠 펌프는 두 개의 동기화된 비접촉 회전자를 사용하여 가스를 입구에서 출구로 연속적으로 전달합니다. 외부 모터와 타이밍 기어 변속기로 구동되는 정밀하게 설계된 로터는 제어된 내부 간격을 유지하여 안정적인 체적 효율성을 보장합니다.
일반적인 응용 분야
열처리: 진공로 진공화, 열처리, 소결.
표면 공학: 박막-필름 증착, PVD/CVD 진공 코팅 및 열 증발.
공정 엔지니어링: 산업용 진공 건조, 진공 증류, 용매 회수 및 탈기.
야금 및 화학: 진공 용해, 화학 반응 용기 및 제약 처리.
첨단 제조: 반도체 처리, 전자 제조, 연구용 진공 시스템.
기술 사양
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매개변수 |
표준사양 |
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펌프 유형 |
고진공 루츠 펌프 / 기계식 진공 부스터 |
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작동 원리 |
포지티브-변위 쌍-엽 루트 프로필 |
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로터 디자인 |
동적으로 균형 잡힌 트윈-로브 로터 |
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공칭 펌핑 속도 |
모델에 따라 다름(성능 곡선 참조) |
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효과적인 펌핑 속도 |
압력 및 배압-펌프 시스템에 따라 다름 |
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작동 압력 범위 |
중진공~고진공 범위 |
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최대. 차압 |
모델에 따라 다름(바이패스 밸브 옵션 사용 가능) |
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냉각방식 |
공랭식-또는 수냉식-냉각식(모델에 따라 다름) |
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매끄럽게 하기 |
오일-윤활 기어 및 베어링 하우징; 건조하고 오일이 없는- 펌핑 챔버 |
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입구/출구 플랜지 |
ISO / KF / ANSI 표준 연결 플랜지 |
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모터 사양 |
3-상(표준, 방폭 또는 맞춤형 전압/주파수) |
적절한 펌프 선택을 위한 주요 단계
장비 성능 저하 또는 모터 열 과부하를 방지하려면 시스템 매개변수를 함께 평가해야 합니다.
목표 압력 및 가스 부하
작업 진공 수준을 정의하고 공정 가스, 가스 방출 및 시스템 누출을 포함한 총 가스 처리량을 계산합니다.
효과적인 펌핑 속도
카탈로그의 공칭 변위 수치에만 의존하기보다는 작동 압력에서 실제 펌핑 속도를 평가하십시오.
배압 펌프 매칭
배압 펌프가 안전한 배압 한계를 유지하면서 루츠 배출구에서 가스를 배출할 수 있는 적절한 용량을 갖고 있는지 확인하세요.
차압(델타 P) 확인
입구와 출구의 지속적인 압력 차이가 허용 가능한 작동 한계 내에 있는지 확인하십시오.
장기적인-작동 안정성, 저소음, 최소 진동은 정밀한 기계 제조 표준에 직접적으로 영향을 받습니다.
CNC 로터 가공:프로파일과 하우징은 최적의 비접촉식 내부 간격을 유지하기 위해 엄격한 공차로 가공됩니다.-
동적 로터 밸런싱:다-평면 밸런싱은 작동 진동을 줄이고 베어링 및 씰 수명을 연장합니다.
통관 및 조립 검사: 엄격한 치수 검사를 통해 기계적 간섭을 방지하고 체적 효율성을 최적화합니다.
공장 인수 테스트(FAT):모든 장치는 배송 전에 최종 압력, 작동 온도, 기계적 진동 및 헬륨 누출 방지를 확인하기 위해 테스트 실행을 거칩니다.

주문 전 요청해야 할 기술 문서
정확한 기술 비교를 수행하려면 다음 엔지니어링 문서를 요청하십시오.
인증된 치수도면(2D/3D CAD 파일)
펌핑 속도 대 입구 압력 성능 곡선
백업{0}}펌프 크기 및 페어링 권장 사항
공장 테스트 보고서(진공 성능, 진동, 헬륨 누출 테스트)
포괄적인 예비 부품 분석 및 유지 관리 문서
FAQ
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