진공 펌프의 기능은 진공 챔버에서 가스 분자를 추출하고 진공 챔버 내부의 가스 압력을 낮추고 필요한 진공도를 달성하는 것입니다. 요약하면 대기에서 매우 높은 진공까지 범위가 넓고 지금까지 이 범위를 커버할 수 있는 진공 시스템은 없습니다. 따라서 다양한 제품의 공정 지표, 작업 효율 및 장비 수명 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 진공 섹션에 대해 다양한 진공 시스템 구성을 선택해야 합니다.
최적의 구성을 달성하기 위해 진공 시스템을 선택할 때 다음 사항을 고려해야 합니다.
1. 작동 진공 범위 결정
첫째, 각 공정에 필요한 진공도를 확인하고 결정하는 것이 필요합니다. 각 공정마다 적합한 진공도 범위가 있으므로 신중하게 연구하고 결정해야 합니다.
2. 최대 진공도를 결정하십시오.
공정에 필요한 진공도를 결정한 것을 기준으로 진공 펌프 시스템의 궁극 진공도를 확인합니다. 시스템의 궁극 진공도는 시스템의 최적 작동 진공도를 결정합니다. 일반적으로 시스템의 최대 진공도는 시스템의 작동 진공도보다 20% 낮고 이전 펌프의 최대 진공도보다 50% 낮습니다.
3. 추출되는 가스의 종류 및 양
공정에 필요한 공기 추출의 유형과 양을 확인하고 결정하십시오. 펌핑되는 가스 유형이 펌프 내부의 액체와 반응하면 펌프 시스템이 오염되기 때문입니다. 동시에 적절한 배출 시간과 추출 공정 중에 생성되는 가스의 양을 결정하는 것을 고려해야 합니다.
4. 진공량
필요한 진공도를 달성하는 데 필요한 시간과 진공 파이프라인의 흐름 저항 및 누출을 확인하여 결정합니다.
필요한 진공도를 달성한 후에는 특정 공정 조건에서 필요한 진공 속도를 유지하는 것을 고려하세요.
