통조림 모터 드라이브 루츠 진공 부스터
캔형 모터 구동 루츠 진공 부스터는 배압 펌프와 함께 작동하도록 설계된 용적형{0}}변위 진공 부스터로, 가스 처리량을 크게 늘리고 산업 작동 범위 전반에 걸쳐 펌프다운 성능을 향상합니다.- 밀봉된 캔 모터 구성과 결합된 동기화된 Roots 로터를 활용함으로써 이 시스템은 동적 샤프트- 씰 누출을 완전히 제거하여 펌핑된- 가스 경로를 완전히 억제합니다.
기술 사양
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기술적인 매개변수 |
사양 / 요구 사항 |
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펌핑 속도 |
실제 작동 압력과 일치하는 체적 변위 |
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작동 압력 범위 |
목표 역행 임계값까지 정상적인 작동 압력 감소 |
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차압 |
입구와 출구 전체에서 허용되는 최대 압력 강하 |
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가스 부하 용량 |
연속 및 피크 질량/체적 가스 유량 |
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공정 가스 호환성 |
부식성, 독성, 불활성 또는 응축성 증기 구성 |
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온도 제한 |
정상 및 최대 허용 가스 온도 |
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배압 펌프 요구 사항 |
체적 배출 및 -단간 압력 제어에 적합한 크기 |
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모터 드라이브 및 전기 |
밀폐형 캔 모터; 지정된 전압, 주파수 및 위상 |
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규정 준수 및 안전 |
지역 전기 표준(IEC, NEMA, ATEX / IECEx 옵션) |
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냉각방식 |
통합된 공기 또는 액체 냉각 구성 |
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연결 표준 |
입구/출구 플랜지 크기(ISO-K, ANSI, JIS 표준) |
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건축자재 |
304L/316L SS, Hastelloy 또는 특수 합금의 습식 부품 |
시스템 통합 및 배압 펌프 매칭
루츠 부스터는 엄격히 중간 단계로 작동하며 대기로 직접 배출할 수 없습니다. 백킹 펌프는 차압을 부스터의 안전한 작동 한계 내로 유지하면서 배출 가스를 지속적으로 제거해야 합니다.
교차 압력:펌프다운 중에 부스터가 작동하는 정확한 흡입 압력 임계값을 정의합니다-.
열 평형:단계 간 냉각 용량과 압축 열 발생의 균형을 유지하세요.-
대피 역학:공칭 카탈로그 수치가 아닌 검증된 펌핑 속도 대 입구 압력 곡선을 사용하여 총 챔버 비우기 시간을 계산합니다.
제조 및 품질 보증
신뢰할 수 있는 높은{0}}진공 성능은 엄격한 기계적 허용 오차와 동적 균형에 따라 달라집니다. 표준 제조 및 검사 게이트에는 다음이 포함됩니다.
CNC 로터 프로파일링:정확한 내부 간격과 체적 효율성을 유지하는 정밀 가공.
동적 밸런싱:진동, 소음 및 베어링 마모를 최소화하기 위한 고속-로터 밸런싱.
차원 CMM 검사:조립 전 하우징 및 챔버 형상 검증.
타이밍 기어 동기화:비접촉식 로터 회전을 보장하는 정밀한 기어 정렬-
헬륨 질량 분석기 테스트:진공 견고성 및 구조적 무결성 검증.
공장 인수 테스트(FAT):런아웃-, 전기 부하 및 성능 곡선 검증.
적용범위
높은 가스 처리량, 신속한 배기 또는 절대 가스 봉쇄를 요구하는 산업 공정용으로 설계된 일반적인 응용 분야는 다음과 같습니다.
반도체 제조, CVD/PVD 시스템, 진공 코팅
활성 제약 성분(API) 진공 건조 및 용매 회수
고온-진공로, 납땜 및 야금
대규모-산업용 가스 제거 및 중앙 진공 시스템
FAQ
Q: 통조림 모터 구동 루츠 진공 부스터에는 배압 펌프가 필요합니까?
답: 그렇습니다. Roots 부스터는 대기 압축기가 아닌 포지티브-변위 부스터입니다. 배출 가스를 처리하고 안전한 단계 간 압력 차이를 유지하려면 적절한 크기의 배압 펌프(예: 회전 날개, 나사 또는 액체 링 펌프)가 필요합니다.-
Q: 올바른 펌핑 속도를 어떻게 선택해야 합니까?
A: 특정 작동 압력에서 필요한 질량 유량 또는 펌핑 속도를 기준으로 선택하고, 제조업체의 성능 곡선을 통해 검증된 챔버 용량, 목표 펌프 작동 정지 기간, 가스 부하 역학을 고려합니다.
Q: 차압이 중요한 선택 매개변수인 이유는 무엇입니까?
답변: 과도한 차압은 모터와 타이밍 기어에 높은 열 응력과 기계적 부하를 발생시킵니다. 부스터를 적절한 크기의 배압 펌프와 일치시키면 작동 지점이 열 한계 내에서 안전하게 유지됩니다.
Q: 이 부스터는 부식성 또는 응축성 가스를 처리할 수 있습니까?
A: 예, 그렇습니다. 가스{0}}접촉 재료와 엘라스토머 씰이 해당 용도에 맞게 맞춤식으로 선택되고{1}}적절한 응축기, 스크러버 또는 가스 퍼지가 업스트림에 통합되어 있는 경우에 한합니다.
Q: 고정 모터 구성의 장점은 무엇입니까?
답변: 캔 모터는 2차 격리 장벽 내에서 고정자와 회전자를 완전히 밀봉하여 동적 샤프트{0}}밀봉 실패 지점을 제거하고 대기 누출이 없어야 하는 독성, 가연성 또는 초{1}}청정 환경에 이상적입니다.
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