제로 누설 자기 드라이브 루츠 부스터

제로 누설 자기 구동 루츠 부스터는 밀봉된 자기 변속기를 사용하여 모터와 펌핑 챔버 사이에 토크를 전달합니다. 기존의 동적 샤프트 씰을 제거함으로써 이 설계는 표준 기계식 구동 부스터에 내재된 주요 누출 경로를 제거하여 공정 가스 오염 및 대기 유입을 방지합니다.

1차 배압 펌프용 고용량 부스터로 설계된- 이 시스템은 반도체, 화학, 야금 및 산업 코팅 공정 전반에 걸쳐 펌핑 속도와 최고의 진공 성능을 최적화합니다.

다음 매개변수는 기술 평가 및 모델 선택을 위한 기준으로 사용됩니다.

동적 샤프트 씰 제거
표준 루츠 부스터는 마찰, 열팽창 및 화학적 분해로 인해 점차적으로 마모되는 동적 기계식 샤프트 씰에 의존합니다.
자기 구동 시스템은 정적 격리 쉘(캐니스터)을 활용하여 이러한 실패 지점을 제거합니다.
토크 전달: 외부 자석은 직접 접촉 없이 견고한 비자성 장벽을 통해 내부 자석을 구동합니다.-
밀폐형 씰링: 동적 씰을 정적 씰 배열로 변환하여 샤프트 누출을 제거하고 공정 순도를 보호합니다.
측정 가능한 누출 표준
고진공 엔지니어링에서 '누출 제로'는 검증되지 않은 마케팅 주장이 아니라 엄격하고 측정 가능한 허용 표준을 의미합니다.
품질 보증: 모든 장치는 헬륨 누출률 제한 준수 여부를 확인하기 위해 헬륨 질량 분광계 누출 감지기(HMSLD)를 사용하여 동적 진공 상태에서 공장 테스트를 거쳤습니다.3. . 테스트 인증서는 파견 문서에 포함되어 있습니다.

자기 드라이브 부스터는 엄격한 가스 봉쇄, 독성 물질 격리 또는 초-청정 조건이 필요한 응용 분야에 이상적입니다.
반도체 및 전자:고순도 또는 반응성 가스를 포함하는 PVD/CVD 증착, 에칭, 결정 풀링 및 웨이퍼 처리-
화학 및 제약 처리:용매 회수, 진공 증류, 열 탈기 및 공격적인 증기 추출.
진공 코팅 및 야금:광학 코팅, 전자{0}}빔 용접, VIM(진공 유도 용해) 및 산업용 열처리로.
고가치-가스 회수:헬륨(He), 아르곤(Ar), 육불화황(SF6)을 포함한 희귀하거나 값비싼 가스의 폐쇄형{0}}루프 재순환입니다.

최적의 루츠 부스터를 선택하려면 공칭 펌핑 속도에만 의존하기보다는 전체 진공 시스템을 평가해야 합니다.
목표 펌핑 속도 계산:총 챔버 부피, 필요한 비우기 시간, 공정 가스 흐름 및 시스템 가스 방출을 기준으로 유효 속도를 결정합니다.
백업 펌프 매칭:배압 펌프가 최대 차압 한계를 초과하지 않고 부스터의 배출을 처리할 수 있을 만큼 충분한 처리량을 제공하는지 확인하십시오.
프로세스 미디어 검토:부식성, 독성, 응축성 또는 미립자{0}}함유 가스를 식별하여 적절한 로터 코팅(예: PTFE 또는 니켈 도금), 가스 밸러스트 구성 또는 입구 여과 장치를 선택하세요.

정밀 가공:CNC 프로파일 밀링은 하우징과의 -로터-간극을-매우 단단하게 유지하여 기계적 접촉 없이 체적 효율성을 최적화합니다.
동적 밸런싱:로터는 ISO 1940 G1.0 표준에 따라 동적 밸런싱을 거쳐 진동을 줄이고 베어링 수명을 연장합니다.
커플링 안전:자기 드라이브 어셈블리는 전체 작동 부하에서 미끄러짐이 발생하지 않도록 열-스트레스-테스트를 거쳤습니다.

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