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고진공 로터리 로브 변위 펌프

고진공 로터리 로브 변위 펌프

고진공 로터리 로브 변위 펌프(일반적으로 루츠 진공 부스터라고도 함)는 고진공 응용 분야에서 펌핑 속도와 처리량을 크게 늘리도록 설계된 포지티브{0}}변위 펌프입니다.{1}} 동기화된 역-회전 로브로 구동되는 이 펌프는 가스를 흡입구에서 배출구로 빠르게 전달하여 까다로운 산업 압력 범위에서 높은 체적 효율을 제공합니다.
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제품 소개

고진공 로터리 로브 변위 펌프

 

고진공 로터리 로브 변위 펌프(일반적으로 루츠 진공 부스터라고도 함)는 고진공 응용 분야에서 펌핑 속도와 처리량을 크게 늘리도록 설계된 포지티브{0}}변위 펌프입니다.{1}} 동기화된 역-회전 로브로 구동되는 이 펌프는 가스를 흡입구에서 배출구로 빠르게 전달하여 까다로운 산업 압력 범위에서 높은 체적 효율을 제공합니다.

 

로터리 로브 진공 펌프를 지정하는 이유는 무엇입니까?

 

진공 시스템에 기본 배압 펌프가 자체적으로 제공할 수 있는 것보다 더 높은 용적 변위와 더 빠른 펌프다운 주기가 필요한 경우 로터리 로브 진공 펌프가 필수적입니다.
주요 엔지니어링 이점은 다음과 같습니다.
높은 체적 효율성:
목표 압력 범위 내에서 가스 배출 용량을 최대화합니다.
다목적 배압 펌프 통합:회전 날개, 건식 스크류, 수봉 또는 피스톤 배압 펌프와 함께 원활하게 작동합니다.
열적 및 기계적 안정성:정확한 간격을 유지하고 지속적인 가스 부하 시 과열을 방지하도록 설계되었습니다.
글로벌 호환성:다중{0}}전압 모터(50/60Hz), 방폭-옵션 및 표준 국제 플랜지 연결과 함께 사용할 수 있습니다.
유연한 맞춤화:맞춤형 장착 방향, 특수 밀봉 옵션 및 맞춤형 냉각 배열을 지원합니다.

 

기술 매개변수 및 선택 가이드

 

매개변수/요구사항

엔지니어링 사양

펌프 유형

고진공 로터리 로브 변위 펌프/루츠 진공 부스터

목표 펌핑 속도

작동 압력에 필요한 체적 유량(m3/h 또는 CFM)

궁극의 진공

필요한 기본 시스템 압력(Pa, mbar 또는 Torr)

작동 압력 범위

연속 및 최고 작동 압력 한계

최대 차압

입구와 출구 사이의 최대 허용 압력 차이

공정 가스 매체

공기, N2, 반응성, 응축성 또는 부식성 증기 혼합물

입구 가스 온도

펌프 입구로 유입되는 공정 가스의 온도

백업 펌프 세부 정보

기존 모델, 기술 유형 및 배기량

연결 플랜지

표준 ISO-K, ISO-F, CF 또는 ANSI 산업용 플랜지 패턴

모터 사양

전압, 주파수(50/60Hz), 보호 등급, ATEX/IECEx 준수

냉각방식

공냉식 또는 통합 수냉식-냉각 재킷

품질 및 표준

ISO 9001, CE, ATEX 또는 특정 프로젝트 표준 준수

 

시스템 선택 및 엔지니어링 단계

 

진공 및 압력 목표 정의:부스터 크기 및 배압 펌프 비율을 결정하기 위해 최종 진공 및 작동 압력을 식별하십시오.
체적 펌핑 속도 계산:공칭 자유{0}}공기량에만 의존하기보다는 실제 작동 압력에서 필요한 펌핑 속도를 평가하세요.
배압 펌프 일치 확인:백킹 펌프가 최대 허용 토출 압력을 초과하지 않고 부스터에 의해 토출된 가스 처리량을 배출할 수 있는지 확인하십시오.
가스 및 환경 조건 검토:가스 구성, 습기, 먼지 또는 부식성 요소를 지정하여 하우징 재질, 표면 코팅 및 씰 유형을 결정합니다.
차압 관리:바이패스 밸브(오버플로우 밸브) 또는 가변 주파수 드라이브(VFD)를 통합하여 더 높은 차압에서 작동할 때 열 과부하로부터 펌프를 보호합니다.
인터페이스 및 장착 확인:주문하기 전에 물리적 치수, 흡입구/배출구 플랜지 표준, 모터 매개변수 및 공간 방향(수평 또는 수직 흐름)을 확인하십시오.

 

애플리케이션 및 프로세스 최적화

 

진공로:챔버 펌프의 가동 중지 시간을 가속화하고-오일 역류를 방지하며 고온 열처리, 납땜 및 소결 중에 안정적인 작동 압력을 유지합니다.-
진공 코팅(PVD/CVD):균일한 박막 증착에 필요한 지속적인 가스 처리량과 정밀한 압력 제어를 제공합니다.{0}}
진공 건조 및 변압기 대피:열 분해 없이 저압에서 수분 제거 및 용매 탈기를 가속화합니다.
화학 및 제약 처리:부식-방지 코팅 또는 증류, 용매 회수 및 지속적인 탈기용 특수 샤프트 씰로 구성됩니다.
전자 및 반도체 제조:깨끗하고 엄격하게 제어되는 진공 환경이 필요한 자동화 처리 장비에 원활하게 통합됩니다.

 

제조 정밀도 및 품질 관리

 

안정적인 펌프 작동은 엄격한 가공 공차, 정확한 로터 타이밍 및 엄격한 품질 검사에 달려 있습니다.
정밀 CNC 가공:최적의 내부 간격을 유지하기 위해 펌프 하우징과 로브 프로파일을 고정밀 가공합니다.-
동적 로터 밸런싱:로터 어셈블리의 동적 밸런싱을 통해 진동을 줄이고 베어링 수명을 연장하며 소음 수준을 낮춥니다.
타이밍 기어 동기화:고속 작동 중 로터-대-접촉을 방지하기 위해 조립 중에 정확한 기어 정렬 검사를 수행합니다.-
헬륨 누출 테스트:하우징 조인트, 엔드 플레이트 및 샤프트 씰에 대한 포괄적인 진공 누출 테스트를 통해 구조적 무결성을 보장합니다.
공장 인수 테스트(FAT):진동, 작동 온도 상승, 최종 진공 및 전력 소비를 평가하기 위한 배송 전 테스트를 실행합니다.

 

조달 및 기술 평가를 위한 문서

 

요청 시 다음 기술 문서 패키지를 이용할 수 있습니다.

  • 2D 치수 외곽선 도면 및 3D CAD 모델(STEP / IGES)
  • 펌핑 속도 대 압력 성능 곡선
  • 모터 데이터 시트 및 전기 회로도
  • 공장 검사 기록 및 동적 균형 보고서
  • 헬륨 누출 테스트 인증서 및 실행 중인 테스트 보고서
  • ISO 9001, CE 및 ATEX 준수 인증서
  • 작동, 유지보수 및 예비 부품 매뉴얼

 

FAQ

 

Q: 고진공 로터리 로브 변위 펌프(루츠 부스터)란 무엇입니까?

A: 이는 동기화된 역-회전 로브를 사용하여 입구에서 출구로 가스를 이동시키는 포지티브{0}}변위 진공 펌프입니다. 이는 낮은 압력에서 1차 배압 펌프의 펌핑 속도와 변위를 크게 증가시키는 부스터 단계의 역할을 합니다.

Q: 로터리 로브 진공 펌프에는 배압 펌프가 필요합니까?

답: 그렇습니다. 로터리 로브 진공 부스터는 제한된 차압에 대해 작동하며 대기압으로 직접 배출할 수 없습니다. 배기 압력을 처리하려면 적합한 배압 펌프(예: 회전 날개, 건식 나사 또는 액체 링 펌프)와 쌍을 이루어야 합니다.

Q: 올바른 부스터와 배압 펌프 조합을 어떻게 선택합니까?

A: 안전한 스테이징 비율(일반적으로 작동 압력에 따라 2:1에서 10:1 사이)을 유지하려면 부스터 변위를 배압 펌프 용량과 일치시키는 선택이 필요합니다.

Q: 로터리 로브 진공 펌프가 지속적으로 작동할 수 있습니까?

A: 그렇습니다. 지정된 차압, 온도 및 회전 속도 제한 내에서 작동한다면 가능합니다. 더 높은 입구 압력에서 지속적으로 작동하려면 압력 릴리프 바이패스 밸브 또는 가변 주파수 드라이브(VFD)를 사용하여 열 및 기계적 부하를 관리해야 합니다.

Q: 교체용 펌프를 주문하려면 어떤 정보가 필요합니까?

A: 현재 펌프의 명판 데이터, 모터 전기 사양, 플랜지 연결 유형/크기, 전체 장착 치수, 작동 압력 범위 및 공정 가스 세부 정보를 제공하십시오.

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